第195章 nm光刻胶出炉
平安县，旧厂区小学。
讲台上，数学老师正唾沫横飞地讲解着一道应用题。
而教室后排靠窗的角落，周小树单手支着下巴打瞌睡。
这几天，各种设备和材料都运到了旧厂区实验室，他放了学之后就奔实验室安装设备，昨天一不小心又通了个宵，今天实在困的不行。
“周小树！”
数学老师的声音忽然响起，周小树直接从睡梦当中惊醒。
“你来回答一下这个问题！”
周小树站起身来看了一眼数学老师，随后又低头向同桌投去了求助的目光。
对方用手比划了一个c的形状。
看到这一幕，周小树不由偷偷的向对方竖起一个中指。
你小子坑我一次，还想再坑我第二次？
于是他冲着数学老师开口说道：“不好意思，这题我不会。”
一瞬间全班都安静了下来。
数学老师推了推鼻梁上的眼镜。
“我刚刚说过答案的，你这么快就忘了吗？”
周小树尴尬一笑，数学老师一拍桌怒道：“选c呀！”
这一刻，周小树直接愣住，然后缓缓转头看向同桌。
卧槽？
不是哥们儿，你玩真的呀？
对方也做出了一个无语的表情，低声说道：“让你不信我……”
周小树无奈起身，然后就看到了林嘉悦站在窗户口冲着数学老师挥手点头。
对此，数学老师甚至已经没有多问一句直接无奈点头。
“周小树你出去一下吧！”
“谢谢老师！”
周小树松了口气，在全班羡慕的目光当中，转身离开了教室。
“哎呀，嫂子就是好，谢谢嫂子解围！”
啪了一下，林嘉悦在他屁股上踢了一脚。
“再乱说话，以后我给你加一节课！”
接着对方翻了个白眼说道：“最后一台超高速离心分离机已经送到了旧厂区实验室，大海正在卸货呢，你赶紧回去看看吧！”
“啊？”
听到这个消息的时候，周小树一阵惊喜：“这么快就到了？”
“是呀，特事特办专门从国外空运了一台给你送过来的，需要我给你请几天假吗？”
“嘿嘿，林老师太懂我了，先给我请一个星期吧，等我忙完之后再回来上课！”
“行吧，一个星期以后可能要考试，别忘了。”
“知道知道！”
周小树开心的跑向校门口，然后轻车熟路的上了一旁的军用吉普。
现在的他已经算是国家重点科研人员出门，那都是有一个警卫连随行保护的，待遇不是一般的高。
在校长那一脸羡慕的目光当中，周小树的车子一路开到了旧厂区。
推开实验室的门，就看到了一台超高速离心机，已经被安放在了角落当中。
王大海擦擦额角的汗水，拿起毛巾擦了擦离心机上的灰尘说道：“都已经验收过了，没问题的！”
“太好了！”
周小树一阵激动，随后直接套上了无尘服，然后说道：“事不宜迟，咱们就尽快开始吧！”
王大海点点头也跟着从一旁拿出了无尘服，然后进入到了实验室内。
光刻胶的制作并不简单，尤其是高品质的光刻胶，更是决定了芯片的良品率以及性能。
品质越好的光刻胶，分辨率就越高，而这也直接决定了芯片的集成度。
除了分辨率以外，还有一个重要的指标就是敏感度。
这决定了曝光光源能量的影响效率，也决定了生产效率和成本。
目前龙国还在研制二代光刻机的光刻胶技术，而自己现在要生产的则是四代光刻机所用到的更高品质的光刻胶。
经过一番喷淋冲洗，去静电等环节之后，周小树穿着无尘服进入到了纯净车间。
前段时间一些前期的准备工作和各种反应的材料都已经做好了，
剩下的工作就是高速离心机所用到的分离提纯了。
他将所需要用到的材料送入高速离心机当中，然后按下了启动按钮。
随后实验室内传来了一阵轻微的嗡鸣声。
周小树每隔一段时间从里面取出来一些材料进行检测。
王大海站在一旁跟着仔细的学，拿着小本子像是小学生一样认真的记录着每一个步骤。
看着周小树打着哈欠，王大海连忙说道：“要不这个环节交给我吧。”
周小树点点头没有拒绝，然后又交代了一番之后这才离开实验室。
几天后。
实验室深处的暗红色防爆灯下，周小树小心翼翼地打开一个特制的、避光的棕色玻璃瓶。
瓶内，是一种呈现出均匀琥珀色、质地略显粘稠的液体。
看着瓶子里的这些液体，周小树的嘴角微微一扬。
“20nm Arf浸没式光刻胶样品，成了！”
听到这话，旁边的王大海激动的低声欢呼了一声。
“小树，太牛了，没想到你竟然做出来了，这就是你说的四代光刻机所需要用到的光刻胶吗？”
“没错，不过现在有个问题就是，没办法评估性能！”
虽然周小树明白，这一瓶光刻胶肯定是没问题的。
毕竟自己掌握的系统，按照其中的技术搞出来的东西是不会出现一点偏差的。
但是关键问题是拿不出来实验报告，那就没办法证明它的性能。
而光刻胶的性能测试绝非简单的观察和直觉判断，它需要一套极其复杂而且昂贵的专业设备。
首先是需要在步进式光刻机用于曝光测试，然后用扫描电子显微镜用于高精度测量曝光后图案的分辨率、线边缘粗糙度和侧壁形貌等性能。
这些设备，动辄数千万甚至上亿，而且大多被国外巨头垄断，对龙国严格禁运。
燕京半导体研究所内虽然也有一些设备，可那测试精度最高也就只有200纳米。
根本就测不出来这款光刻胶的极限性能。
周小树沉思了片刻。
很快，他眼中闪过一丝决断。
“如果我没记错的话，汉斯猫的希曼公司那边好像有相关设备，大海哥，你能不能帮我搞到他们那边的送检名单？”
对方一愣：“这……这种东西他们好像不会对外公布吧？”
周小树微微一笑：“我当然知道不会对外公布，所以……”
王大海瞪大眼睛，随后咬牙点点头：“好，我去弄！”